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Batch式高真空蒸發(fā)設(shè)備ei系列是可對(duì)應(yīng)在基板上成金屬膜或氧化物膜的設(shè)備??赏ㄟ^(guò)操作面板實(shí)現(xiàn)抽真空、成膜等作業(yè)內(nèi)容的集中自動(dòng)化操作,適用于研究開(kāi)發(fā)及少量生產(chǎn)
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有機(jī)EL成膜設(shè)備SOLCIET, SATELLA, ZELDA系列
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ULVAC面向有機(jī)EL材料開(kāi)發(fā)提供實(shí)驗(yàn)用設(shè)備系統(tǒng)到量產(chǎn)Cluster系統(tǒng)設(shè)備和Inline系統(tǒng)設(shè)備。
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