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• 批次式高真空蒸發(fā)設備ei系列
  

  Batch式高真空蒸發(fā)設備ei系列是可對應在基板上成金屬膜或氧化物膜的設備?？赏ㄟ^操作面板實現(xiàn)抽真空、成膜等作業(yè)內(nèi)容的集中自動化操作，適用于研究開發(fā)及少量生產(chǎn)

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  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  •  •      可搭載多樣蒸發(fā)源（EB、電阻式、EB+電阻式）。

    • 對應不同制程可選多種基板holder（lift-off、行星式、衛(wèi)星式等）。

    • φ2 in? 6 in基板、矩形基板、Si、化合物、glass、陶瓷燈各種基板對應。
    • 液晶觸控板集中現(xiàn)實操作。
    • 集成電腦擁有優(yōu)異的操作性和性能（recipe功能、data-logging、maintenance assistant功能）。
  • 產(chǎn)品應用 / Product application
  • • Power Device等化合物相關
    • LED、LD、高速device
    • 各種實驗用

    • 其他各種電子部件
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