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關(guān)于愛(ài)發(fā)科

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• 離子注入設(shè)備
  • 可對(duì)應(yīng)低速高濃度的離子注入設(shè)備SOPHI-30
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    低加速、高濃度對(duì)應(yīng)的離子注入設(shè)備。

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  • 高能對(duì)應(yīng)離子注入設(shè)備SOPHI-400
    高能對(duì)應(yīng)離子注入設(shè)備SOPHI-400

    SOPHI-400

    可達(dá)2400KeV的高能離子注入設(shè)備。

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  • 研究開(kāi)發(fā)用中電流離子注入設(shè)備IMX-3500
    研究開(kāi)發(fā)用中電流離子注入設(shè)備IMX-3500

    IMX-3500

    中電流離子注入裝置IMX-3500為最大能量200keV、對(duì)應(yīng)最大晶圓尺寸8inch的離子注入裝置，適用于大學(xué)等機(jī)構(gòu)的研究開(kāi)發(fā)。

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  • SiC用高溫離子注入設(shè)備 IH-860DSIC
    SiC用高溫離子注入設(shè)備 IH-860DSIC

    IH-860系列

    搭載了高溫ESC（靜電吸附卡盤(pán)）的面向SiC量產(chǎn)用的高能粒子注入裝置。

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