•通過采用9分割溫度控制的in-Line方式,實(shí)現(xiàn)了優(yōu)秀的均熱性能和較高的生產(chǎn)性能。
•由于可對應(yīng)從低真空到高真空的各種用途,可以選擇合適的排氣系統(tǒng)。