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• 基板傳送采用全新的卷繞控制技術(shù),可根據(jù)不同的材料和尺寸實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行。
• 根據(jù)蒸鍍的目的,可以選擇匹配的蒸發(fā)源(感應(yīng)加熱方法,電阻加熱方法,EB加熱方法)。
• 各種預(yù)處理/后處理的機(jī)制達(dá)到良好的工藝條件。
• 可提供能夠在線測量的穿透式膜厚監(jiān)視儀,渦流式膜厚監(jiān)視儀,電阻值監(jiān)視儀等。
• 包裝材料,透明氣體屏障,金銀線
• 電容器
• 磁帶
• 光學(xué)膜