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• 批次式濺射設(shè)備SV系列
  

  SV系列為縱型batch式濺射設(shè)備。為可以處理大量基板的回轉(zhuǎn)型設(shè)備。

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  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  • • SV-4540、6040、9045為回轉(zhuǎn)型設(shè)備基板裝載量大、適用于小~中規(guī)模的生產(chǎn)或少量多品種的生產(chǎn)

  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application

  • • 各種基板上的電極膜成膜、絕緣膜、電介質(zhì)膜成膜

     
  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters
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