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    批次式EI系列

    批次式高真空ei系列，是一種在基板上制作金屬或氧化膜的設(shè)備。

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    干法刻蝕設(shè)備

    對應LED量產(chǎn)專用的干法刻蝕設(shè)備?NE-950EX?相對我司以往設(shè)備實現(xiàn)了140%的生產(chǎn)力。

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    SMD 系列

    SMD 系列是鍍金屬膜、ITO、IGZO、誘電體膜等的枚葉式濺射鍍膜設(shè)備。

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    去膠設(shè)備

    NA-1500

    從關(guān)鍵的新世代晶圓制程到晶圓級封裝，Luminous NA系列可對應廣范圍的各類晶圓尺寸的各類工藝需求。

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    離子注入設(shè)備

    高溫離子注入設(shè)備

    搭載了高溫ESC（靜電吸附卡盤）的面向SiC量產(chǎn)用的高能粒子注入裝置。

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    CVD設(shè)備

    CC-200

    CMD系列是用SiH4和TEOS成膜的a-Si膜、氧化硅膜、氮化膜成膜用的枚葉式CVD設(shè)備。

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