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• SOLCIET有前室、有機鍍膜室、電極鍍膜室、中間室和glove box獨立的腔室構(gòu)成、可以進行從材料評價到產(chǎn)品特性評價的實驗系統(tǒng)。
我們還提供豐富的選項,如濺射陰極和各種蒸發(fā)源,以擴大實驗用途的范圍。對應的基板尺寸的標準是100mm的。
• SATELLA采用獨立的工藝室制造多腔室樣式,可以進行SOLCIET難以進行的全色產(chǎn)品評估。 它有一個8角形傳輸室,可根據(jù)實際需求容納2到4個有機沉積室。 此外,它配備了高精度的掩模對準機制,并支持有源矩陣全彩設(shè)備(active matrix full-color device)。 對應的電路板尺寸的標準是200 mm。
• ZELDA系列是批量生產(chǎn)兼容系統(tǒng)。 我們有豐富的應用,包括新開發(fā)的蒸發(fā)源。 可以對應的電路板尺寸是G2或更大。
• 有機EL Display、有機EL照明