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• RFS-N 系列
  

  RFS-N 系列是 13.56MHz、0.5kW/1/kW/3kW/5kW 輸出射頻電源，用于等離子體處理。 配備高效射頻放大器，體積小、重量輕。
  此外，射頻電源具有內(nèi)置的自動匹配控制器功能，因此可以只用主機來控制射頻電源和匹配系統(tǒng)的功率。

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  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  • 特征

    1）通過安裝具有高功率轉(zhuǎn)換效率的射頻電路來實現(xiàn)節(jié)能

    2）通過高速算法進行高速自動匹配

    3）射頻電源內(nèi)置自動匹配功能

    4）可進行外部模擬控制和串行通信控制。

    5）通過基于作為設(shè)備制造商多年積累的專業(yè)知識進行設(shè)計，實現(xiàn)壓倒性的可靠性，

  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application
  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters

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• 產(chǎn)品系列

  • 設(shè)備(按類型分)
    蒸發(fā)設(shè)備 退火設(shè)備 蒸餾設(shè)備 氦檢漏設(shè)備 凍結(jié)干燥設(shè)備 卷繞設(shè)備 真空爐 CVD設(shè)備 離子注入設(shè)備 去膠設(shè)備 濺射設(shè)備 刻蝕設(shè)備 其他
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