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• EGN 系列
  

  EGN 系列是新開(kāi)發(fā)的金屬氣相沉積電子束蒸發(fā)源，專注于提高可維護(hù)性。采用平頂結(jié)構(gòu)，減少了與電子束蒸發(fā)源的粘附面積，實(shí)現(xiàn)了高可維護(hù)性。
  

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  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  • 特征

    1）它抑制背向散射電子并抑制襯底溫度的上升

    2）平頂結(jié)構(gòu)減少了電子束蒸發(fā)源上的沉積面積，使其易于清潔

    3）與以前的型號(hào)相比，新的發(fā)射器結(jié)構(gòu)將零件數(shù)量減少到 60%，使組裝更容易

    4）可以選擇用于金屬沉積的帶狀光束和用于氧化物/化合物的點(diǎn)光束

    5）作為設(shè)備制造商積累的專有技術(shù)的反饋到設(shè)計(jì)

  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application
  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters

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• 產(chǎn)品系列

  • 設(shè)備(按類型分)
    蒸發(fā)設(shè)備 退火設(shè)備 蒸餾設(shè)備 氦檢漏設(shè)備 凍結(jié)干燥設(shè)備 卷繞設(shè)備 真空爐 CVD設(shè)備 離子注入設(shè)備 去膠設(shè)備 濺射設(shè)備 刻蝕設(shè)備 其他
  • 設(shè)備(按用途分)
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