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• EGO系列
  

  這款高度可靠的 EB 噴槍基于 ULVAC 多年的技術(shù)，專為光學(xué)領(lǐng)域而開發(fā)。

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  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  • 特征

    1）由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn)，因此二次電子對沉積體的影響小。

    2）即使是可升華的材料,也可以通過掃描x軸和Y軸上的光束點來順利蒸發(fā),從而消除挖洞現(xiàn)象。(日本國專利 831485號 843447)

    3）電子束是 270°  偏轉(zhuǎn)的,因此不會暴露在蒸發(fā)材料的蒸氣中,燈絲的使用壽命長。

    4）發(fā)射器組件易于安裝和拆卸，便于更換燈絲、絕緣體等。

  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application
  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters

  • 

• 產(chǎn)品系列

  • 設(shè)備(按類型分)
    蒸發(fā)設(shè)備 退火設(shè)備 蒸餾設(shè)備 氦檢漏設(shè)備 凍結(jié)干燥設(shè)備 卷繞設(shè)備 真空爐 CVD設(shè)備 離子注入設(shè)備 去膠設(shè)備 濺射設(shè)備 刻蝕設(shè)備 其他
  • 設(shè)備(按用途分)
    FPD&PV設(shè)備 半導(dǎo)體設(shè)備 電子設(shè)備 產(chǎn)業(yè)機器
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