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• HPS系列
  

  基于愛發(fā)科多年的技術(shù)積累和成果，該電源兼容電子束蒸發(fā)源，可穩(wěn)定電路并提高性能。當(dāng)與 EGC-10GS 電子束槍控制器結(jié)合使用時(shí)，它可用于光學(xué)薄膜電子束槍和金屬薄膜電子束槍。

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  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  • 特征

    1）無需冷卻水

    強(qiáng)制風(fēng)冷系統(tǒng)無需冷卻水

    2）高可靠性

    作為設(shè)備制造商積累的專有技術(shù)的反饋到設(shè)計(jì)"

    3）易用性

    操作面板采用 LCD 觸摸屏，提高了可操作性。

    4）掃描波形變化

    可創(chuàng)建 XY 掃描、波形編輯、特定區(qū)域停留重量控制、圓掃描、圓形式編輯、半徑、螺旋和其他各種光束掃描形式。

    5）高速電弧關(guān)閉功能

    高速電弧中斷可最大限度地減少沉積速率下降

    6）低電平電弧控制功能(光學(xué)應(yīng)用可選)

    通過控制光學(xué)應(yīng)用中產(chǎn)生的微小電弧，可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的氣相沉積。

  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application
  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters

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• 產(chǎn)品系列

  • 設(shè)備(按類型分)
    蒸發(fā)設(shè)備 退火設(shè)備 蒸餾設(shè)備 氦檢漏設(shè)備 凍結(jié)干燥設(shè)備 卷繞設(shè)備 真空爐 CVD設(shè)備 離子注入設(shè)備 去膠設(shè)備 濺射設(shè)備 刻蝕設(shè)備 其他
  • 設(shè)備(按用途分)
    FPD&PV設(shè)備 半導(dǎo)體設(shè)備 電子設(shè)備 產(chǎn)業(yè)機(jī)器
  • 真空標(biāo)準(zhǔn)部件
    真空泵 真空閥 氣體分析計(jì) 超高真空部件 微量精密攪拌機(jī) 薄膜計(jì)測 分子間相互作用解析裝置 光學(xué)工藝模擬器 軟件 真空搬運(yùn)機(jī)械手 檢漏儀 真空計(jì) 電源
  • 材料
    高功能材料 納米金屬油墨 濺射靶材
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