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  • 真空泵
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    干泵LS系列

    愛發(fā)科擁有品類十分齊全的干泵、油泵、低溫泵、分子泵等等，并提供各種泵的問題診斷和維修服務(wù)。

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  • 真空計(jì)
    真空計(jì)

    皮拉尼真空計(jì) G-TRAN系列

    包含了從大氣壓開始到真空為止測定的皮拉尼真空計(jì)。變送器型真空計(jì)是采用傳感器和計(jì)量回路一體設(shè)計(jì)（也有分離型），實(shí)現(xiàn)省裝置成本，省安裝空間，省配線的目的。

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  • 檢漏儀
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    檢漏儀HELIOT 900系列

    愛發(fā)科的檢漏儀是可對(duì)應(yīng)He檢漏的全部需求的全自動(dòng)檢漏裝置。

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  • 真空搬運(yùn)機(jī)械手
    真空搬運(yùn)機(jī)械手

    真空搬送機(jī)械手ELEC-RZ

    愛發(fā)科作為技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)豐富的真空器械廠家，愛發(fā)科的真空機(jī)械手是一種具有潔凈且信賴性高的搬送平臺(tái)。

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    軟件

    設(shè)備診斷系統(tǒng) FABISEQ

    通過FABISEQ可采集工藝設(shè)備的數(shù)據(jù)，在軟件上進(jìn)行圖表顯示。通過設(shè)備數(shù)據(jù)的可視化，可調(diào)查發(fā)生不良的原因和經(jīng)過，實(shí)現(xiàn)工藝安定性的觀察

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  • 光學(xué)工藝模擬器
    光學(xué)工藝模擬器

    光學(xué)工藝模擬器Optius

    通過測定等離子體的發(fā)光圖線，可實(shí)時(shí)監(jiān)視各種各樣的等離子體工藝的狀況。最適用于反應(yīng)性濺射的MFC控制和刻蝕的終點(diǎn)檢出等。

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