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真空標(biāo)準(zhǔn)部件 干泵 油泵 低溫泵 渦輪分子泵 更多……

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• 控制器一體型渦輪分子泵UTM-MI系列
  

  采用磁氣軸受的控制器一體型渦輪分子泵。由于泵本體和控制器一體化，可以實(shí)現(xiàn)省配線、省空間。

  購(gòu)買(mǎi)咨詢

  若想了解更多請(qǐng)致電182-2185-4021

  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  • • 泵自身和控制器一體

            不需要進(jìn)行泵本身和控制器間的復(fù)雜配線作業(yè)

    • 安裝方向自由

            因?yàn)榘惭b方向沒(méi)有限制，設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度很高。

    • 排氣速度1000L/s～4000L/s級(jí)別Line-up。
    • 面向輕量級(jí)工藝的大范圍大流量設(shè)計(jì)
    • 泵的旋轉(zhuǎn)數(shù)在25～100%的范圍可變
            由于旋轉(zhuǎn)數(shù)可變可調(diào)整腔體壓力。
     • 高耐久性和安全性
            大氣突入測(cè)試、觸地測(cè)試等各種安全性測(cè)試全部通過(guò)。
  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application

  • • 各種設(shè)備的真空排氣系統(tǒng)

            半導(dǎo)體制造設(shè)備

            蒸發(fā)設(shè)備

            濺射設(shè)備

            分析設(shè)備

           實(shí)驗(yàn)設(shè)備等

           研究開(kāi)發(fā)設(shè)備

    • 無(wú)副產(chǎn)品產(chǎn)生的輕量級(jí)工藝的主排氣系統(tǒng)
    • 自油擴(kuò)散泵搭載裝置的置換
    • 其他，各種高真空排氣用途
  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters
• 產(chǎn)品系列

  • 設(shè)備(按類型分)
    蒸發(fā)設(shè)備 退火設(shè)備 蒸餾設(shè)備 氦檢漏設(shè)備 凍結(jié)干燥設(shè)備 卷繞設(shè)備 真空爐 CVD設(shè)備 離子注入設(shè)備 去膠設(shè)備 濺射設(shè)備 刻蝕設(shè)備 其他
  • 設(shè)備(按用途分)
    FPD&PV設(shè)備 半導(dǎo)體設(shè)備 電子設(shè)備 產(chǎn)業(yè)機(jī)器
  • 真空標(biāo)準(zhǔn)部件
    真空泵 氣體分析計(jì) 成膜用電源 超高真空部件 微量精密攪拌機(jī) 薄膜計(jì)測(cè) 分子間相互作用解析裝置 光學(xué)工藝模擬器 軟件 真空搬運(yùn)機(jī)械手 檢漏儀 真空計(jì) 真空閥
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    高功能材料 納米金屬油墨 濺射靶材
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