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• 采用ULVAC原產(chǎn)的高效率多電壓電機(jī)
用一臺電機(jī)即可對應(yīng)200~240V/380~460V的大范圍電壓。
• 采用強(qiáng)制給油方式
即使在大氣壓附近排氣速度也很安定。適用于大氣壓⇔真空反復(fù)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
• 蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備、離子鍍設(shè)備
• 分析儀器、檢漏設(shè)備
• 氣體置換、液體注入