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• LS系列：
同時(shí)具有高速排氣和低消耗電力特點(diǎn)的干泵。有4個(gè)機(jī)種可供選擇，根據(jù)設(shè)備的大小、使用條件等可選擇條件適合的排氣量干泵。
• CR系列：
CR系列VerB為取得國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的空冷式工具型干泵。由于排氣室中不使用油，轉(zhuǎn)子和圓筒為非接觸運(yùn)轉(zhuǎn)，可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。
GR系列是基于擁有大量實(shí)績(jī)和信賴性的LR/HR系列，面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的構(gòu)造較為簡(jiǎn)單的干泵。
• LR/HR/UR系列
LR/HR/UR系列采用獨(dú)自開發(fā)的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現(xiàn)了在CVD、刻蝕等的硬件工藝的 高耐久性。在產(chǎn)線工藝上，和ECO-SHOCK一起使用，可實(shí)現(xiàn)降低約為80%的消耗電力。 此外，高維修性能和低噪音，可對(duì)應(yīng)全機(jī)種CE（可選項(xiàng)）。 可進(jìn)一步了解ECO-SHOCK詳細(xì)情況。
• 干泵節(jié)能適配器ECO-SHOCK ES10
ECO-SHOCK適配器配合選擇使用的干泵，可實(shí)現(xiàn)大幅度節(jié)省電力能源。
• 干泵節(jié)能適配器ECO-SHOCK ES4A
ECO-SHOCK是一種配合干泵使用可實(shí)現(xiàn)大幅降低消耗電能的適配器。
ES4A需要在裝載室頻繁取出放入的情況下，或者像渦輪分子泵那樣達(dá)到壓力需要長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)的前級(jí)干泵的電能削減。
• 各種真空設(shè)備
• 空冷型干泵
• 面向一般產(chǎn)業(yè)干泵
• 低溫均熱化模式
• HR型更高溫模式
