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  • 油回轉(zhuǎn)泵
    油回轉(zhuǎn)泵

    油回轉(zhuǎn)泵VD系列VerC

    油回轉(zhuǎn)真空泵，使用真空泵油使得旋轉(zhuǎn)部分非常潤滑，真空密封性很高，可實現(xiàn)比較高的排氣性能。具有價格便宜、緊湊、安裝簡便等特點(diǎn)。單個油回轉(zhuǎn)真空泵容易獲得真空，具有優(yōu)良的經(jīng)濟(jì)性和操作性。

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  • 油擴(kuò)散泵
    油擴(kuò)散泵

    油擴(kuò)散泵

    ULVAC的ULK型油擴(kuò)散泵，是在長年的研究和豐富的制造經(jīng)驗的基礎(chǔ)上設(shè)計的。是一種按臨界背壓較大來設(shè)計的小型高真空排氣泵。

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  • 渦輪分子泵
    渦輪分子泵

    控制器一體型渦輪分子泵

    渦輪分子泵是在分子流領(lǐng)域排氣速度一定，可進(jìn)行連續(xù)排氣。此外，不需要再生等保養(yǎng)作業(yè)，對H、He可實現(xiàn)非常高的排氣性能。

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  • 低溫泵
    低溫泵

    低溫泵CRYO-U6H

    低溫泵是將氣體分子在極低溫度面凝縮，通過吸附排出所有氣體。（特別是水分的排氣能力特別高）。真空容器內(nèi)無物體動作，不使用油，可以獲得清潔的真空。和吸附方式的泵一樣，排氣速度非常大是其顯著特點(diǎn)。

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  • 干泵
    干泵

    干泵LR-HR-UR系列

    干泵不使用油或者液體，所以真空腔體內(nèi)可獲得潔凈的真空。從大氣壓到到大壓力可大范圍應(yīng)用。

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  • 機(jī)械增壓泵
    機(jī)械增壓泵

    機(jī)械增壓泵PMB系列Ver. D

    通過機(jī)械增壓泵、油回轉(zhuǎn)泵、干泵等的粗泵組合，在粗泵排氣速度下降的壓力領(lǐng)域，可大幅提高排氣速度。

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  • 濺射離子泵
    濺射離子泵

    濺射離子泵

    離子真空泵，由陽極和陰極構(gòu)成的泵單元中，由于增加電場的簡單原理，沒有機(jī)械振動和噪音等可獲得超·極高真空。

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  • 鈦升華泵
    鈦升華泵

    鈦升華泵GGT系列

    鈦升華泵，利用鈦的升華作用可獲得超高真空。和離子泵一起并用，可以獲得極高真空。

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