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• 采用了獨(dú)特的測(cè)定方式，實(shí)現(xiàn)了高速化與輕便化。
• UNECS-1500A/2000A/3000A通過自動(dòng)R-θStage和自動(dòng)對(duì)焦機(jī)能來快速自動(dòng)測(cè)定基板內(nèi)的膜厚分布，將結(jié)果表示在ColorMap上。
• 高速測(cè)定： 采用了獨(dú)特的抓拍方式，實(shí)現(xiàn)了最快20ms的高速測(cè)定
• 可視分光應(yīng)對(duì)： 波長(zhǎng)范圍可以在標(biāo)準(zhǔn)型（530nm-750nm）與可視分光型（380nm-760nm)之間進(jìn)行選擇
• 輕便的Sensor Unit： 投受光Sensor沒有回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，單由光學(xué)粒子非常輕便，也不需要定期的維護(hù)
• 豐富的產(chǎn)品類型： 以獨(dú)特的ProtableType設(shè)計(jì)為出發(fā)點(diǎn)，衍生出了Manual/Auto-StageType、大型基板Type與對(duì)應(yīng)大氣/真空環(huán)境的Build-In Type等，我們準(zhǔn)備了各式各樣的產(chǎn)品來對(duì)應(yīng)各種不同的用途。
• 用于透明或半透明薄膜（酸化膜、窒化膜、Resist、ITO等）的膜厚、折射率、衰減系數(shù)的測(cè)定。
